一般說來，能夠生產純氣體、高純氣體、電子工業用氣體產品的企業，都有一定的技術力量和儀器設備，管理也十分到位。標準的實施雖然一般沒有什么大的問題，但微量雜質的分析問題可能是它們共同的難點所在。

電子工業用氣體是一種有特殊用途的氣體，在半導體、集成電路的生產中，或者用于氣相淀積、離子注入、等離子工藝，或者用于蝕刻、鈍化、外延、摻雜，或者作為載氣、加壓、清洗、保護、覆蓋、濺射、退火、擴散等等。它們對使用有害的雜質的要求相當嚴格，集成度越高，要求越高。

公司帶您了解與純氣體、高純氣體不同，電子工業用氣體標準關心的是于使用有害的雜質，而于使用無害的雜質通常不予規定，雜質及其含量指標由使用要求確定，對于諸如氧、水等具有氧化性或還原性的雜質要求往往特別嚴格，氣體的純度由雜質含量確定，低純度97%，純度要求已達到99.99999%。

純氣體、高純氣體重在氣體的純度，考慮了所有可能存在的雜質，雜質含量隨純度確定。純氣體的純度通常在99.99%以上，高純氣體通常在99.999%以上。純度很高的高純氣體不一定能符合電子工業用氣的要求；反之，純度較低的氣體產品不一定不能用于電子工業，關鍵是含有的雜質水平是否滿足使用要求。

我國現行的電子工業用氣體標準幾乎都是采用SEMI（半導體設備與材料國際組織）標準而制定的，今后可能也一樣。SEMI是一個有1200多個企業參加的、組織半導體設備和材料方面的國際展覽、技術交流、制定標準和規范的一個國際組織。SEMI制定的標準，保持了技術上的**性。密切結合微電子技術的發展，反映了當前半導體工業的國際水平，有較強的科學試驗依據和生產技術的支持，具有較高的科學性、**性、實用性，內容較全面，標準配套。在一定意義上，已成為半導體工業的國際性語言。